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涡旋真空泵的发展
来自:南光真空设备   发布时间:2011-12-26

       1、旋的概念相当久远,20世纪初世界上就已经有了涡旋技巧的专利。但由于当时技巧程度的限制,涡旋机构制作不出来,涡旋的概念也就被淡忘了。1973年涡旋机构被重新提起并制作出第一台模型机构,使这项技巧实际利用成为可能。涡旋机构的可靠性高、运行安稳、噪音极低、节俭能源等潜力和宏大优势马上引起了冰箱行业的器重和急切需求,大受行业领先者青睐,迅速被投入工业化利用。今天涡旋技巧已经由初期的利用在压缩机行业推广到真空泵制作业,实现了全无油、运行更安稳、噪音更低、更加节俭能源的涡旋干净真空获得技巧的实用化。

       2、涡旋无油真空泵(0-Ifreescrollvacuumpump)的特点与利用领域

       干净的真空环境一直是科学家和企业界寻求的理想真空环境。自能够创造真空环境开端,人们就试图采用不同手段达到干净真空的效果。时至今日,干净真空获得设备已经发展到冷凝泵、柱赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品。在现有的无油真空泵当中,涡旋无油真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有运行安稳、噪音低、节俭能源、重量轻、体积小的特点并已经被广泛利用到下述科学研究与生产领域:①半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备;②真空冶金行业——真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备;③科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;④医疗设备——牙科仪器、透析机;⑤生物制操行业——材料提纯、药品制备;⑥包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。

       3、涡旋无油真空泵工作原理、技巧指标以及与普通油泵的对照

       涡旋无油真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基础抽气机构。例如在双级涡旋无油真空泵中,有两个方向对应的固定涡旋盘,一个位于两个涡旋盘之间的转动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变更的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。

      4、涡旋无油真空泵的优点及其能给用户解决的问题

      4.1涡旋无油真空泵性能优越:涡旋真空泵的重要优点是间隙晓、泄漏少,具有较高的压缩比,在较宽的陋力领域内有牢固的抽速,工作压力领域宽;由于压缩腔容积的变更市持续的,因而驱动扭矩变更小,功率变更小,振动噪声低,可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。

      4.2涡旋无油真空泵解决了污染与振动等基础、共性问题:由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响,如生物制操行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油阀题。真空镀膜设备的镀膜工艺中,在20~40Pa真空条件下镀膜时,如果利用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染,影响成膜量。半导体晶片制作工艺当中利用油泵与利用干泵相比,成品率存在509l左奋涸的差距,并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染。科学仪器行业尤其是在分析试仪器行业,采用油泵对测试成果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采涸用涡旋无油真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外涡旋无油真空泵消酒除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。

       4.3涡旋无油真空泵使系统制作与运行成本降低:为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染,需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子;系统运行过程当中还需要定期清洗除油;有的需要定期调换真空泵油。采用涡旋无油真空泵第一不需要加冷阱之类捕油机构、第二不需要换真空泵油、第三振动更小、运行更安稳、第四能耗降低、第五重量更轻、第六突破了油泵利用领域的限制,使涡旋无油真空泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。

        国内以半导体、电子工业为代表的制作工艺当中和科学研究与分析测试行业急切需要无油污染的干净真空环境,但是干净真空获得设备如冷凝泵、柱奏泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等目前都没有形成可靠先进的批量国产产品。进口涡旋无油真空泵作为一种在中国市场不超过3年的产品,由于价格、市场的开辟和用户的认识程度等原因,没有形成良性循环。这样,一方面是急切的市场需求,另一方面从价格与技巧双方面看没有合适产品,造成了极大的市场缺口。

        毫无疑问价格适中、性能可靠的涡旋无油真空泵将成为合适中国市场恳求产品的主流,大力发展无旋无油真空泵势在必行。研制符合中国市场恳求的涡旋类及其它无油真空泵系列产品及其检测技巧手段也成为中国真空获得行业进一步发展的一个契机。 为解决我国科学研究和新材料、半导体等行业发展面临的技巧手段存在的基础、共性问题,近年来已经不断有业内专家向国内介绍涡旋无油真空泵技巧及其发展现状,国外涡旋无油真空泵生产厂家与代理对中国市场的开发使其在中国市场的销量在逐年增长。

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